廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-05-27

通過優(yōu)化氣體流道設(shè)計(jì)和智能流量調(diào)節(jié)技術(shù)，設(shè)備在正常運(yùn)行時(shí)氣體消耗量可低至 5-10L/h（視腔體容積而定）。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的銀漿無氧烤箱支持 “脈沖式補(bǔ)氣” 模式，在氧含量超標(biāo)時(shí)自動(dòng)補(bǔ)氣，進(jìn)一步降低氣體成本。

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