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廣東華芯半導體技術有限公司2025-05-31
標準機型單次比較大裝載量為 100kg（以 200mm 晶圓托盤計），托盤尺寸可定制為 Φ150mm-Φ450mm。廣東華芯半導體技術有限公司提供多孔吊籃設計，可同時兼容不同尺寸的 PCB 板、陶瓷基板及晶圓，提升空間利用率達 40%。
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