1994年12月17日，撤銷臨沂地區(qū)和縣級臨沂市，設(shè)立地級臨沂市。臨沂市設(shè)立蘭山區(qū)、羅莊區(qū)和河?xùn)|區(qū)。河?xùn)|區(qū)轄九曲鎮(zhèn)、相公鎮(zhèn)、湯頭鎮(zhèn)、芝麻墩鎮(zhèn)、梅埠鎮(zhèn)、重溝鎮(zhèn)、黑墩鄉(xiāng)、湯河鄉(xiāng)、鄭旺鄉(xiāng)、太平鄉(xiāng)、八湖鄉(xiāng)、劉店子鄉(xiāng)，區(qū)人民政府駐九曲鎮(zhèn)。

1991年1月14日，撤銷九曲鄉(xiāng)，設(shè)立九曲鎮(zhèn)。1994年9月7日，撤銷梅埠鄉(xiāng)、重溝鄉(xiāng)、芝麻墩鄉(xiāng)，設(shè)立梅埠鎮(zhèn)、重溝鎮(zhèn)、芝麻墩鎮(zhèn)。1995年4月10日，撤銷鄭旺鄉(xiāng)、太平鄉(xiāng)、設(shè)立鄭旺鎮(zhèn)、太平鎮(zhèn)。

1996年初，河?xùn)|區(qū)面積730.6平方千米，人口58萬。轄8個鎮(zhèn)、4個鄉(xiāng)：九曲鎮(zhèn)、太平鎮(zhèn)、芝麻墩鎮(zhèn)、湯頭鎮(zhèn)、鄭旺鎮(zhèn)、相公鎮(zhèn)、重溝鎮(zhèn)、梅埠鎮(zhèn)、八湖鄉(xiāng)、鳳凰嶺鄉(xiāng)、劉店子鄉(xiāng)、湯河鄉(xiāng)。區(qū)政府駐九曲鎮(zhèn)。

1996年7月3日，撤銷八湖鄉(xiāng)、湯河鄉(xiāng)，設(shè)立八湖鎮(zhèn)、湯河鎮(zhèn)（魯政函民字[1996]32號）。至此，河?xùn)|區(qū)轄10個鎮(zhèn)、2個鄉(xiāng)：九曲鎮(zhèn)、相公鎮(zhèn)、湯頭鎮(zhèn)、芝麻墩鎮(zhèn)、梅埠鎮(zhèn)、重溝鎮(zhèn)、鄭旺鎮(zhèn)、太平鎮(zhèn)、湯河鎮(zhèn)、八湖鎮(zhèn)、劉店子鄉(xiāng)、鳳凰嶺鄉(xiāng)。

2000年第五次人口普查，全區(qū)總?cè)丝?87897人，其中：九曲鎮(zhèn)85522人，芝麻墩鎮(zhèn)52052人，梅埠鎮(zhèn)37098人，重溝鎮(zhèn)43681人，湯河鎮(zhèn)49310人，相公鎮(zhèn)61974人，太平鎮(zhèn)46704人，八湖鎮(zhèn)31886人，鄭旺鎮(zhèn)60306人，湯頭鎮(zhèn)56207人，鳳凰嶺鄉(xiāng)33541人，劉店子鄉(xiāng)29616人。

2007年，河?xùn)|區(qū)轄7個街道、4個鎮(zhèn)、1個鄉(xiāng)：九曲街道、芝麻墩街道、梅埠街道、相公街道、太平街道、湯頭街道、鳳凰嶺街道、重溝鎮(zhèn)、湯河鎮(zhèn)、八湖鎮(zhèn)、鄭旺鎮(zhèn)、劉店子鄉(xiāng)。區(qū)政府駐九曲街道。其中，芝麻墩街道、梅埠街道由臨沂經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管理。

2009年9月21日，經(jīng)省政府批準(zhǔn)，臨沂市河?xùn)|區(qū)調(diào)整部分行政區(qū)劃：撤銷重溝鎮(zhèn)，設(shè)立重溝街道，辦事處機(jī)關(guān)駐原重溝鎮(zhèn)政府駐地。調(diào)整后，全區(qū)轄8個街道、3個鎮(zhèn)、1個鄉(xiāng)：九曲街道、芝麻墩街道、梅埠街道、相公街道、太平街道、湯頭街道、鳳凰嶺街道、重溝街道、湯河鎮(zhèn)、八湖鎮(zhèn)、鄭旺鎮(zhèn)、劉店子鄉(xiāng)。其中，芝麻墩街道、梅埠街道由臨沂經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管理。

2011年，將沂南縣葛溝鎮(zhèn)整建制劃歸河?xùn)|區(qū)管轄。11月，撤銷葛溝鎮(zhèn)，并入湯頭街道；撤銷劉店子鄉(xiāng)，并入八湖鎮(zhèn)；將臨沭縣南古鎮(zhèn)8個行政村、曹莊鎮(zhèn)5個行政村劃歸河?xùn)|區(qū)梅家埠街道管轄（授權(quán)臨沂經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)管理）。同年，重溝街道更名為朝陽街道。調(diào)整后，河?xùn)|區(qū)總面積797平方千米，轄8個街道、3個鎮(zhèn)：九曲街道、芝麻墩街道、梅家埠街道、相公街道、太平街道、湯頭街道、鳳凰嶺街道、朝陽街道、湯河鎮(zhèn)、八湖鎮(zhèn)、鄭旺鎮(zhèn)。