掃描電子顯微鏡電子器發(fā)射出的電子束經(jīng)過聚焦后匯聚成點光源；點光源在加速電壓下形成高能電子束；高能電子束經(jīng)由兩個電磁透鏡被聚焦成直徑微小的光點，在透過較為后一級帶有掃描線圈的電磁透鏡后，電子束以光柵狀掃描的方式逐點轟擊到樣品表面，同時激發(fā)出不同深度的電子信號。此時，電子信號會被樣品上方不同信號接收器的探頭接收，通過放大器同步傳送到電腦顯示屏，形成實時成像記錄（圖a）。由入射電子轟擊樣品表面激發(fā)出來的電子信號有：俄歇電子（Au E）、二次電子（SE）、背散射電子（BSE）、X射線（特征X射線、連續(xù)X射線）、陰極熒光（CL）、吸收電子（AE）和透射電子（圖b）。每種電子信號的用途因作用深度而異。掃描電鏡是一種對表面微觀世界能夠經(jīng)行普遍分析的多功能電子顯微檢測。四川哪家做掃描電鏡推薦

和透射電鏡相比，掃描電鏡試樣制備比較簡單。在保持材料原始形狀情況下，可以直接觀察和研究試樣表面形貌及其它物理效應(yīng)（特征），這是掃描電鏡的一個突出優(yōu)點。掃描電鏡的有關(guān)制樣技術(shù)是以透射電鏡、光學(xué)顯微鏡及電子探針X射線顯微分析制樣技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的，有些方面還兼具透射電鏡制樣技術(shù)，所用設(shè)備也基本相同。但因掃描電鏡有其本身的特點和觀察條件，只簡單地引用已有的制樣方法是不夠的。在進行掃描電鏡觀察時，如試樣表面不導(dǎo)電或?qū)щ娦圆缓茫瑢a(chǎn)生電荷積累和放電，使得入射電子束偏離正常路徑，較為終造成圖像不清晰乃至無法觀察和照相。四川哪家做掃描電鏡推薦掃描電鏡視頻放大器放大的二次電子信號是一個交流信號。

掃描電鏡可以進行材料斷口的分析。掃描電子顯微鏡的另一個重要特點是景深大，圖象富有立體感。掃描電子顯微鏡的焦深比透射電子顯微鏡大10倍，比光學(xué)顯微鏡大幾百倍。由于圖象景深大，故所得掃描電子象富有立體感，具有三維形態(tài)，能夠提供比其他顯微鏡多得多的信息，這個特點對使用者很有價值。掃描電子顯微鏡所顯示的斷口形貌從深層次、高景深的角度呈現(xiàn)材料斷裂的本質(zhì)，在教學(xué)、科研和生產(chǎn)中，有不可替代的作用，在材料斷裂原因的分析、事故原因的分析以及工藝合理性的判定等方面是一個強有力的手段。

掃描電子顯微鏡類型多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子器種類可分為三種：場發(fā)射電子器、鎢絲器和六硼化鑭 。其中，場發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短，需要定時對針尖進行清洗，*局限于單一的圖像觀察，應(yīng)用范圍有限；而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不*連續(xù)工作時間長，還能與多種附件搭配實現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中，我們不*需要對樣品進行初步形貌觀察，還需要結(jié)合分析儀對樣品的其它性質(zhì)進行分析，所以熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的應(yīng)用更為普遍。掃描電鏡的真空系統(tǒng)由機械泵與油擴散泵組成。

較為常見的掃描電子顯微鏡模式是檢測由電子束激發(fā)的原子發(fā)射的二次電子（secondary electron）。可以檢測的二次電子的數(shù)量，取決于樣品測繪學(xué)形貌，以及取決于其他因素。通過掃描樣品并使用特殊檢測器收集被發(fā)射的二次電子，創(chuàng)建了顯示表面的形貌的圖像。它還可能產(chǎn)生樣品表面的高分辨率圖像，且圖像呈三維，鑒定樣品的表面結(jié)構(gòu)。掃描電子顯微鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。真空柱是一個密封的柱形容器。掃描電鏡生物樣品：蛋白、細胞及DNA等樣品，請?zhí)峁┰敿毜闹茦舆^程，減少鹽對測試結(jié)果的影響。四川哪家做掃描電鏡推薦

掃描電子顯微鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。四川哪家做掃描電鏡推薦

掃描電鏡在化學(xué)中的應(yīng)用 掃描電鏡技術(shù)在材料學(xué)的應(yīng)用十分普遍，比如，可用掃描電鏡觀察研究薄膜傳感器壓阻的靈敏度，用于觀測碳化硅顆粒增強的鋁基復(fù)合材料的界面反應(yīng)產(chǎn)物的形貌。 五、在工業(yè)中的應(yīng)用 1)在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用 由于半導(dǎo)體器件體積小、重量輕、壽命長、功率損耗小、機械性能鈔好，因而適用的范圍廣。然而半導(dǎo)體器件的性能和穩(wěn)定性在很大程度上受它表面的微觀狀態(tài)的影響。 一般半導(dǎo)體器件試制和生產(chǎn)過程中包括了切割、研磨，拋光以及各種化學(xué)試劑處理等一系列序，正是在這些過程中，會造成表而的結(jié)構(gòu)發(fā)生驚人的變化，所以幾乎每一 個步驟都需對擴散區(qū)的深度進行測量或者直接看到擴散區(qū)的實際分布情況，而生產(chǎn)大型集成電路更是如此。因此，掃描電鏡被普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中，比如，用于質(zhì) 量監(jiān)控與公益診斷、器件分析、失效分析和可靠性研究、電子材料研制分析等。四川哪家做掃描電鏡推薦

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