微泰半導體閘閥的特點，首先介紹一下起三重保護的保護環機能，采用鋁質材料減少重量，并提高保護環的內部粗糙度，防止工程副產物堆積黏附。提升保護環內部流速設計，保護環逐步收窄，提升流速，防止粉塵黏附。采用三元系O型圈，保證保護環驅動穩定（保證30萬次驅動）。微泰半導體閘閥應用于? Evaporation（蒸發）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上。可替代HVA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環保科技有限公司。閘閥高度大，啟閉時間長。閘板的啟閉行程較大，升降是通過螺桿進行的。HVA閘閥三星半導體

微泰，屏蔽閘閥應用于? Evaporation（蒸發）? 濺射? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)? Coating（涂層）? Etch? Diffusion?CVD（化學氣相沉積）等設備上。可替代VAT閘閥。其特點是*閥體和阻斷器之間的間隙小于1mm*防止流入的氣體（粉末）進入閥體內部*使用維修配件工具包易于維護*應用:隔離泵，氣流中的高水平工藝。屏蔽閘閥規格如下：驅動方式：手動或氣動、法蘭尺寸：2.5英寸~ 10英寸、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環/EPDM、閥蓋密封：Viton O型圈、響應時間：≤ 2 sec、操作壓力范圍：2.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 10? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：2.5? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 10? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、維護前可用次數：200,000次、閥體溫度≤ 200 °、機構溫度≤ 60 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業績小型閘閥I型轉移閥真空閘閥對于隔離不同的真空室、控制工藝過程中的氣流以及在不影響真空環境的情況下促進維護或維修很重要。

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥，蝶閥，Butterfly Valve產品范圍：DN40 ~ 50 -壓力控制-使用步進電機- Product Range : DN40 ~ 50- Pressure Controlled- Using Stepper Motor，- Compatible with VAT Butterfly Control Valve, series61.2 - Application Process : PVD, CVD, Etching, Diffusion-使用步進電機和控制器執行驅動。-通過步進電機/控制器精確定位，確保精確的壓力控制。-兼容VAT蝶閥控制器，系列61.2，-應用工藝： PVD，CVD，蝕刻，擴散。微泰蝶閥Butterfly Valve有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業績。

平板閘閥的選用原則1.石油、天然氣的輸送管線，選用單閘板和雙閘板的平板閘閥。如需清掃管線的，選用單閘板和雙閘板帶導流孔的明桿平板閘閥。2.成品油的輸送管線和貯存設備，選用無導流孔的單閘板或雙閘板的平板閘閥。3.石油、天然氣的開采井口裝置，選用暗桿浮動閥座帶導流孔的單閘板或雙閘板的平板閘閥。4.帶有懸浮顆粒介質的管道，選用刀形平板閘閥。5.城市煤氣輸送管線，選用單閘板或雙閘板軟密封明桿平板閘閥。6.城市自來水工程，選用單閘板或雙閘板無導流孔明桿平板閘閥。需要指出的是：所有的閘閥均不允許用于作調節介質流量用，因此，在開啟時必須將閘板全部提升到通道上方。高壓閘閥按閥桿螺紋的位置分外螺紋式、內螺紋式、法蘭、焊接等。按介質的流向分，有直通式、直流式和角式。

閘閥在工業應用中廣泛應用于管道系統中，主要用于截斷或接通介質流。以下是閘閥在工業應用中的幾個關鍵點：1.常用于水、蒸汽、油品、煤氣等介質的管道系統中。2.可靠性高，維護簡便，壽命較長。3.流體阻力小，開啟和關閉時更為省力。4.適用于大口徑管道，尤其在高壓力場合表現優異。5.可根據介質特性選擇不同材質的閘閥，如鑄鐵、不銹鋼等。6.常見的工業閘閥類型包括平行式、楔式等，滿足不同使用需求。1.化工行業：在化工生產過程中，插板閥用于控制介質的輸送，實現管道的啟閉。2.污水處理：在污水處理系統中，插板閥用于調節水質和流量，保證污水處理效果。3.水電行業：在水電站中，插板閥用于調節水流量，實現水輪機的啟動和停止。4.燃氣行業：在燃氣輸配系統中，插板閥用于控制燃氣的輸送和分配。5.城市供水：在城市供水系統中，插板閥用于調節水壓和水流量，保證居民生活用水。6.工業生產：在各類工業生產過程中，插板閥用于控制物料輸送，提高生產效率。閘閥的結構比較簡單，一般由閥體、閥座、閥桿、閘板、閥蓋、密封圈幾部分組成。金屬閘閥三星半導體

關閉真空閥涉及將閘門移動穿過流路以形成密封。HVA閘閥三星半導體

微泰半導體主加工設備腔內精確壓力控制的閘閥，三重防護閘閥應用于? Evaporation（蒸發）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設備上。有-屏蔽閘閥：防止氣體和粉末進入閥內的隔離閥，-三重防護閘閥：屏蔽1和2+保護環的3重隔離系統，還有步進電機閘閥和鋁閘閥，屏蔽門閥：產品范圍：2.5~12英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數：25萬次?響應時間：0.2秒~3秒；三級預防閘閥，三重防護閘閥：產品范圍：4~10英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數：25萬次?包括屏蔽功能；步進電機閘閥：產品范圍：2.5~10英寸?高壓/超高壓都可用?維護前可用次數：25萬次?包括屏蔽功能；步進電機閘閥；鋁閘閥：產品范圍：2.5~12英寸?高壓氣動?維護前可用次數：10萬次?響應時間：0.2秒~3秒；有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設備使用業績，可替代HVA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環保科技有限公司。HVA閘閥三星半導體