微泰半導體閘閥具有諸多特點：首先，它已向中國臺灣的 Micron、UMC、AKT 等，新加坡的 Micron、Global Foundries，馬來西亞的英菲尼亞半導體，日本的 Micron、三星半導體等眾多設(shè)備廠批量供貨，且品質(zhì)得到認可，同時完成了對半導體 Utility 設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證。其次，該閘閥采用陶瓷球機構(gòu)，具有良好的抗沖擊和震動性能，保證可使用 25 萬次，且檢修方便，維護成本較低。它無 Particle 產(chǎn)生，采用陶瓷球不會有腐蝕和顆粒產(chǎn)生。此外，它還具有屏蔽保護功能，閘閥閥體與擋板之間的距離小于 1mm，能有效防止粉末侵入閥內(nèi)，壽命為半永久性。其保護環(huán)設(shè)計也很獨特，Protecrion Ring 通過流速上升設(shè)計防止粉末凝固，并通過打磨（研磨）工藝防止粉末堆積。微泰半導體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴散）、CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。閘閥啟閉時較省力。是與截止閥相比而言，因為無論是開或閉，閘板運動方向均與介質(zhì)流動方向相垂直。韓國進口閘閥插板閥

半導體真空插板閥是一種用于半導體制造過程中的真空系統(tǒng)的閥門，主要作用是控制氣體的流動，以維持真空環(huán)境的穩(wěn)定。微泰半導體真空腔體用閘閥（插板閥）其特點包括：1. 高密封性：采用特殊的密封結(jié)構(gòu)，能夠有效地防止氣體泄漏，保證真空系統(tǒng)的密封性。2. 耐腐蝕性：材料具有良好的耐腐蝕性，能夠在半導體制造過程中的化學物質(zhì)環(huán)境中穩(wěn)定工作。3. 高精度：能夠精確地控制氣體的流量，滿足半導體制造工藝對精度的要求。4. 快速響應(yīng)：可以快速地開啟和關(guān)閉，以適應(yīng)半導體制造過程中的快速氣體控制需求。5. 可靠性高：設(shè)計和制造過程嚴格，保證了其在長期使用中的可靠性和穩(wěn)定性。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。該閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。韓國進口閘閥插板閥金屬材料高壓閘閥主要有：碳鋼閥門、合金鋼閥門、不銹鋼閥門、鑄鐵閥門、鈦合金閥門、銅合金閥門等。

微泰半導體閘閥的特點：插板閥主滑閥的球機構(gòu)方式-在量產(chǎn)工藝設(shè)備上的性能驗證-由半永久性鋼球陶瓷和板簧組成，陶瓷和金屬觸摸驅(qū)動無顆粒-已向中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設(shè)備，設(shè)備廠批量供貨，已得到品質(zhì)認可，已完成對半導體Utility設(shè)備和批量生產(chǎn)設(shè)備的驗證，而其他廠家閘閥金屬和金屬觸摸驅(qū)動產(chǎn)生大量顆粒。使用鋼陶瓷球，與金屬摩擦時不會損壞，金屬與陶瓷球之間不會產(chǎn)生Particle，半永久板簧（SUS鋼板）的應(yīng)用確保閥門驅(qū)動同步性，采用了固定球?qū)蚱骱弯撎沾?。微泰半導體閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶫VA閘閥、VAT閘閥。上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?/p>

微泰，專門用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion（擴散）?CVD等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥。期特點是*使用維修配件工具包易于維護*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關(guān)*?速度控制器&電磁閥（2Port+N2Port）用不銹鋼管連接（φ6）*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：4英寸~ 8英寸、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：Viton O型圈、響應(yīng)時間：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次維護前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體業(yè)績。

真空閘閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過程中，如半導體生產(chǎn)、電子設(shè)備制造、科研實驗、航空航天等領(lǐng)域。

微泰半導體閘閥具有獨特的三重保護保護環(huán)機能：采用鋁質(zhì)材料，減輕重量的同時提高保護環(huán)內(nèi)部粗糙度，有效防止工程副產(chǎn)物的堆積黏附；通過提升保護環(huán)內(nèi)部流速設(shè)計，且保護環(huán)逐步收窄，進一步提升流速，防止粉塵黏附；采用三元系 O 型圈，確保保護環(huán)驅(qū)動穩(wěn)定，可保證 30 萬次驅(qū)動。該閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴散）、CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上，能夠替代 HVA 閘閥、VAT 閘閥。此閘閥由上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰咎峁?。在機組的給水、主汽、凝結(jié)水、抽汽、空氣、循環(huán)冷卻水、軸冷水等系統(tǒng)中，均安裝有許多閘閥。韓國進口閘閥插板閥

用真空閘閥時，應(yīng)考慮與工藝氣體的兼容性、工作壓力范圍、循環(huán)速度和維護要求等因素。韓國進口閘閥插板閥

微泰，多位閘閥，多位置閘閥，多定位閘閥應(yīng)用于? Evaporation（蒸發(fā)）? Sputtering（濺射）? Diamond growth by MW-PACVD（通過MW-PACVD生長金剛石）? PECV? PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）? Coating（涂層）? Etch（蝕刻）? Diffusion（擴散）?CVD（化學氣相沉積）等設(shè)備上?？商娲鶹AT閘閥。微泰多位閘閥，多位置閘閥，多定位閘閥其特點是?操作模式：本地和遠程?緊急情況：自動關(guān)閉?慢速泵送功能。多位閘閥，多位置閘閥，多定位閘閥規(guī)格如下：材料：閥體 STS304， 機制 STS304、法蘭尺寸(內(nèi)徑) 4英寸~10英寸、閘門密封 FKM(VITON)、開/關(guān)振動 無振動、He泄漏率1X10-9 mbar.l/sec、閘門壓差 ≤1.4 bar、分子流動電導（ISO100）1891 l/s、閥座 1X10-10 mbar?L/秒、泄漏率閥體 1X10-10 mbar?L/Sec、壓力范圍 1X10-10mbar 至 1.4 bar、閘門上任一方向的壓差≤1.4 bar、安裝位置：任意。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導體、日本Micron、三星半導體和其它的設(shè)備使用業(yè)績，上海安宇泰環(huán)?？萍加邢薰尽?韓國進口閘閥插板閥